伊人干av在线国产自制高清AV|丁香五月婷开心亚洲按摩电影99|国产无码十免費日韩精品一区无码|有码无码中文字幕黄片在线看www|高清无码黄片搞AV电影在线|五月天怡红院亚洲国产精品久|无码破解在线白丝喷水av|国产白丝被操夜色在线影院

登 錄 免費注冊 全國統(tǒng)一客服電話:400-676-1800 《中國承包建筑工程網(wǎng)》是中國政企交互型電子招投標領(lǐng)導(dǎo)品牌 進入辦公平臺


招標公告 招標變更 采招業(yè)主會


全項目跟蹤 規(guī)劃施工

應(yīng)
明星企業(yè) 企業(yè)資訊


焦點視點 技術(shù)創(chuàng)新
中標公告 廢標公告 流標與答疑 擬在建項目 可研環(huán)備 產(chǎn)品選型 資質(zhì)選型 政策法規(guī) 展會信息
所在位置:網(wǎng)站首頁 招標公告 正文

廣東省(激光直寫儀)招標通知
公告名稱:
廣東省(激光直寫儀)招標通知
所屬地區(qū):
廣東省
發(fā)布時間:
2020-08-27
詳細內(nèi)容:
項目名稱

激光直寫儀

是否預(yù)選項目



采購人名稱

深圳清華大學研究院

采購方式

公開招標

財政預(yù)算限額(元)

3550001

項目背景













該項目為深圳市科技創(chuàng)新委員會深圳超滑技術(shù)平臺建設(shè)項目,批復(fù)文號深圳科技創(chuàng)新[2019]353號,項目資金已到位,采購金額為998萬人民幣,采購方式為公開招標,采購資金從超滑設(shè)備平臺項目支付。









投標人資質(zhì)要求



1)具有獨立法人資格(提供合法有效的營業(yè)執(zhí)照原件掃描件,原件備查);

2)本項目不接受聯(lián)合體投標,不允許分包,接受投標人選用進口產(chǎn)品參與投標;

3)參與政府采購項目投標的供應(yīng)商近三年內(nèi)無行賄犯罪記錄(由采購中心定期向市人民檢察院申請對政府采購供應(yīng)商庫中注冊有效的供應(yīng)商進行集中查詢,投標文件中無需提供證明材料);

4)(1.只能將國家或地方法律法規(guī)規(guī)定的資質(zhì)要求作為投標人資質(zhì)要求;

2.不得提出投標人須提交任何形式的產(chǎn)品授權(quán)書或代理證的要求;

3.不得違反《深圳經(jīng)濟特區(qū)政府采購條例實施細則》第三十四條的規(guī)定。)





貨物清單





















序號

采購計劃編號

貨物名稱

數(shù)量

單位

備注

財政預(yù)算限額(元)







1 202000387807 激光直寫儀 1.0 公開招標,已經(jīng)完成采購進口設(shè)備專家論證意見。 3550001.0
具體技術(shù)要求



















序號

名稱

招標技術(shù)要求

1

激光直寫儀

1.激光直寫儀系統(tǒng)概述與配置要求

1.1 概述:激光直寫儀主要用于半導(dǎo)體晶圓、方片等各種襯底上亞微米/微米線寬的圖形化工藝及掩模版制備工藝。

1.2 設(shè)備至少包括以下主要部件:溫控罩、防震臺、激光器、LED光源模塊、光學系統(tǒng)、樣品臺系統(tǒng)、圖形影像測量系統(tǒng)、控制系統(tǒng)(硬件及軟件)、數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換系統(tǒng)(硬件及軟件)等。

1.3 ▲配置半導(dǎo)體激光器(激光波段405nm);搭配紫外線LED光源(波段365nm)系統(tǒng)模塊。

2.激光直寫儀設(shè)備主要功能要求

2.1 適用光刻膠的激光直寫曝光。

2.2 操作方式:手動放樣和取樣,自動進行曝光處理。

2.3 配備獨立的數(shù)據(jù)處理計算機,并配有相應(yīng)的數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換處理軟件,可接受數(shù)據(jù)格式至少包括DXF、CIF、GDS、Gerber等。

2.4 配備圖形影像攝像裝置及測量軟件,具備線寬、線距、坐標、距離、邊緣粗糙度測量。

2.6 配備大理石花崗巖機座及氣浮防震裝置。

2.7 ▲具備光學自動聚焦功能。

2.8 激光讀寫頭可更換。

2.9 控制軟件系統(tǒng):基于Windows操作系統(tǒng)。

2.10 配備溫控罩,保證曝光核心區(qū)域潔凈度class 10、溫度波動控制在±0.5oC范圍內(nèi)。

2.11 具備完備的安全預(yù)防與互鎖功能。

2.12 ▲具備光刻膠3維結(jié)構(gòu)灰度曝光功能

2.12.1 激光控制灰度階數(shù): ≥255階;

2.12.2 數(shù)據(jù)格式:至少支持BMP/ STL/ DXF/ X,Y,Z ASCll等數(shù)據(jù)格式。

3.技術(shù)指標要求

3.1▲最大能夠支持9英寸,兼容9英寸及以下方片及不規(guī)則碎片。

3.2▲半導(dǎo)體激光器光刻激光器:

3.2.1 激光波段405nm;

3.2.2 激光能量≥300 mW;

3.2.3 激光器一般使用壽命至少10000小時,激光器保證使用壽命至少5000小時或一年。

3.4 ▲樣品臺系統(tǒng):

3.4.1 采用HeNe激光干涉儀控制樣品臺線性馬達的移動,其分辨率≤10nm;

3.4.2 最大支持樣品厚度≥6mm;

3.5 激光讀寫頭:

3.5.1 設(shè)備可由用戶更換不同分辨率的激光讀寫頭,更換操作需簡單方便;

3.5.2 至少配備可實現(xiàn)最小線寬分辨為600nm和1μm二種激光讀寫頭;

3.5.3 具備自動聚焦控制,其自動焦距分辨率≤100nm;

3.5.4 激光頭Z軸粗調(diào)范圍:≥6mm。

3.6 ▲曝光技術(shù)指標(600nm線寬激光頭):

3.6.1 最小線寬≤600nm;

3.6.2 線寬均勻性≤60nm(3σ);

3.6.3 對準精度≤100nm(3σ);

3.6.4 曝光速度≥6mm2/min。

3.7 ▲曝光技術(shù)指標(1μm線寬激光頭):

3.7.1 最小線寬≤1μm;

3.7.2 線寬均勻性≤130nm(3σ);

3.7.3 對準精度≤250nm(3σ);

3.7.4 曝光速度≥150mm2/min。

3.8 ▲其他曝光技術(shù)指標:

3.8.1有效光刻面積:不小于200mmx200mm。

3.9 其他

3.9.1 設(shè)備采用中國電壓標準。配置符合中國有關(guān)標準要求的插頭,如果沒有這樣的插頭,則需提供適當?shù)霓D(zhuǎn)換插座。









商務(wù)需求



















說明:

1. “(一)免費保修期內(nèi)售后服務(wù)要求”部分,請詳細列明免費保修期內(nèi)的售后服務(wù)要求,內(nèi)容包括但不限于免費保修期限、售后服務(wù)人員配備、技術(shù)培訓(xùn)方案、質(zhì)量保證、違約承諾、維修響應(yīng)及故障解決時間、方案等。

2. “(二)免費保修期外售后服務(wù)要求”部分,請詳細列明免費保修期外的售后服務(wù)要求,內(nèi)容包括但不限于零配件的優(yōu)惠率、維修響應(yīng)及故障解決時間、方案、提供的服務(wù)等。

3. “(三)其他商務(wù)要求”部分,如有補充,請詳細列明。

4. 可在重點條款前標“▲”。(重點條款偏離扣分較重,但不廢標)





序號

目錄

商務(wù)需求

(一)免費保修期內(nèi)售后服務(wù)要求

1

維修及維護服務(wù)

1.1▲各投標人應(yīng)在投標文件中列明各主機、配件和易耗品的保修期限, 并承諾提供整機免費保修期 1 年,終身維修。保修期內(nèi),年度定期預(yù)防性維護保養(yǎng)次數(shù)應(yīng)不少于 1次。保修期內(nèi)免費更換零配件、免工時費。設(shè)備在保修期內(nèi)需由原廠進行維修,出原廠維修報告。

1.2▲由設(shè)備制造商提供售后服務(wù),12 小時內(nèi)響應(yīng), 48 小時維修到位(不可抗力情況除外)。消耗品和零配件供應(yīng)及時,特殊情況下可提供備用方案。廣東省內(nèi)有相應(yīng)的維修機構(gòu),并出具證明文件。

1.3投標人負責貨物的終身維修,保證 10年以上供應(yīng)維修配件,如如果因機器和配件停產(chǎn)造成設(shè)備無法維修者(維修周期同故障處理條款內(nèi)容),必須無條件免費更換整機保證完好使用。

1.4免費提供技術(shù)咨詢及軟件升級,提供產(chǎn)品終身技術(shù)服務(wù)。

1.5提供與產(chǎn)品原廠簽訂的售后服務(wù)協(xié)議書。

1.6 確保在指定實驗室安裝后設(shè)備性能達標。實驗室位于深圳市深圳市坪山區(qū)國富文化創(chuàng)意產(chǎn)業(yè)廠區(qū)廠房四層。中標單位需確保其設(shè)備在該環(huán)境中能夠正常使用。建議對隔振等環(huán)境因素有特殊要求的廠商提前到現(xiàn)場了解測試,并提供自己的解決方案。

2

質(zhì)量保證

2.1保修期內(nèi)因質(zhì)量問題停機不超過2次,因故障總停機時間不超過1個月。否則延長質(zhì)保期或更換新機。

2.2保修期到期前一個月內(nèi)投標人需提供設(shè)備運行狀態(tài)評估報告及過保后設(shè)備維護方案,保證提供有效的非現(xiàn)場技術(shù)支持服務(wù)和聯(lián)系方式。

(二)免費保修期外售后服務(wù)要求

1

維修零配件、消耗品和延續(xù)保修合同的報價

1.1▲由設(shè)備制造商提供售后服務(wù), 12 小時內(nèi)響應(yīng), 48小時維修到位(不可抗力情況除外)。消耗品和零配件供應(yīng)及時,特殊情況下需提供備用機或其他臨時解決方案。

1.2保修期滿后,投標人應(yīng)以優(yōu)惠價供應(yīng)維修零配件、消耗品和延續(xù)保修合同。價格最高的前5項零配件、消耗品和延續(xù)保修合同的報價明細必須填寫于《零配件、消耗品和延續(xù)保修合同報價明清單》中。

1.3采購人可與投標人就優(yōu)惠價進行談判,但優(yōu)惠價不得高于投標人在投標文件的《零配件、消耗品和延續(xù)保修合同報價明清單》中承諾的維修零配件、消耗品和延續(xù)保修合同的報價。

1.4設(shè)備制造商維修的貨物經(jīng)采購人驗收合格,且設(shè)備制造商提供維修專用發(fā)票后,采購人支付維修費用。

1.5免費提供技術(shù)咨詢及軟件升級,提供產(chǎn)品終身技術(shù)服務(wù)。

(三)其他商務(wù)要求

1

交貨要求

1.1簽訂合同后,自收到采購人通知后 180個日歷日內(nèi)交貨

1.2投標人應(yīng)提供貨物的技術(shù)文件,包括但不限于設(shè)備配置清單、產(chǎn)品說明書、圖紙、操作手冊、維護手冊(含維修密碼及接口數(shù)據(jù))、質(zhì)量保證文件、服務(wù)指南等,所有外文資料須提供中文譯本。文件應(yīng)隨貨物一并交付至采購人指定地點。

1.3提供的貨物必須為全新、經(jīng)檢驗合格的產(chǎn)品。產(chǎn)品如需要計量檢定的應(yīng)提供相關(guān)計量檢定部門出具的合法檢定報告。

1.4投標產(chǎn)品必須為整機原廠生產(chǎn)產(chǎn)品。

1.5如為進口產(chǎn)品,必須具有報關(guān)證明文件、原產(chǎn)地證明和商檢合格證明文件,必須提供原產(chǎn)國相關(guān)進口資料;不接受分廠、貼牌及非正當進貨渠道產(chǎn)品。

2

運輸、安裝和驗收

2.1投標人負責將貨物安全無損運抵采購人指定地點(深圳市坪山區(qū)國富文化創(chuàng)意產(chǎn)業(yè)廠區(qū)廠房四層),并承擔設(shè)備的包裝、運輸、保險、裝卸、安裝調(diào)試、培訓(xùn)、商檢及計量檢測、關(guān)稅、增值稅和進口代理等費用。機器安裝調(diào)試完畢,采購人正式投入使用__一周__后,無故障方簽署驗收報告,保修期自 驗收培訓(xùn)完成 起開始計算。

2.2采購人有權(quán)檢驗或測試貨物,以確認貨物是否符合合同規(guī)格的要求,并且不承擔額外的費用。如果發(fā)現(xiàn)所交貨物與投標文件中所承諾的不符或存在質(zhì)量、技術(shù)缺陷等,采購人可以拒絕接收該貨物,投標人應(yīng)在

60 天內(nèi)采取補足、更換或退貨等措施,以滿足規(guī)格的要求,由此發(fā)生的一切損失和費用由投標人承擔。

2.3投標人負責貨物的現(xiàn)場安裝和調(diào)試,提供貨物安裝、調(diào)試和維修所需的專用工具和輔助材料。投標人應(yīng)在貨物運至指定地點后 7 時間內(nèi)開始安裝調(diào)試,并在2 天內(nèi)安裝調(diào)試完畢。

2.4由投標人代表和采購人組成驗收小組對產(chǎn)品進行驗收。驗收標準按照國家規(guī)定標準執(zhí)行。經(jīng)檢驗設(shè)備正常運作后簽署驗收報告,產(chǎn)品保修期自驗收合格之日起算。

3

培訓(xùn)

3.1▲中標人應(yīng)派專業(yè)技術(shù)人員免費對采購單位指定人員進行定期培訓(xùn)及指導(dǎo),直至其完全掌握設(shè)備的使用和基本故障處理技術(shù)。

3.2現(xiàn)場培訓(xùn):中標人應(yīng)提供現(xiàn)場技術(shù)培訓(xùn),保證使用人員正常操作設(shè)備的各種功能,分為設(shè)備和應(yīng)用培訓(xùn)。

3.3集中培訓(xùn):根據(jù)設(shè)備技術(shù)要求,可向中標人提供使用和維修技術(shù)人員培訓(xùn)。

3.4計算機輔助培訓(xùn):針對該機型的多媒體互動操作教學軟件,方便學習掌握基本操作和各項高級功能。

3.5網(wǎng)絡(luò)教育:專業(yè)化產(chǎn)品俱樂部網(wǎng)站,提供與世界各地用戶和專家進行網(wǎng)上交流和學習的平臺,并隨時了解最新的技術(shù)進展和各種教育課程、會議信息。

4

知識產(chǎn)權(quán)

4.1投標人應(yīng)保證采購人在使用該貨物或其任何一部分時,免受第三方提出的侵犯其專利權(quán)、商標權(quán)、著作權(quán)或其它知識產(chǎn)權(quán)的起訴。投標人保證所提供軟件的合法性,所發(fā)生的任何知識產(chǎn)權(quán)糾紛與采購人無關(guān)。

4.2采購人購買產(chǎn)品后,有權(quán)對該產(chǎn)品與其他設(shè)備進行配套、整合或適當改進,而免受侵犯專利權(quán)的起訴。

4.3知識產(chǎn)權(quán)歸屬:雙方共同進行的設(shè)備改造,知識產(chǎn)權(quán)應(yīng)遵守雙方約定,中標人不得在采購人不同意的情況下,泄露或銷售相關(guān)技術(shù)內(nèi)容或設(shè)備改造方案。

5

付款方式

5.1合同簽署后7個工作日內(nèi),采購人支付20%預(yù)付款。出貨后憑出貨憑證,采購人支付60%貨款。貨到驗收合格后,中標人憑驗收報告,采購人7個工作日內(nèi)支付20%貨款。

6

違約責任

6.1貨物抵達目的港 90 天內(nèi),如發(fā)現(xiàn)質(zhì)量、規(guī)格、數(shù)量與合同的約定不一致,除保險公司或運輸代理聲明負責的以外,采購人有權(quán)根據(jù)中國檢驗檢疫局出具的檢驗證書要求換貨或要求賠償,所需費用(如檢驗費、退回次品運輸替換貨品的運費、保險費、倉儲費、裝卸費等)由投標人承擔。

6.2如果投標人沒有按照約定日期交貨,除不可抗力之外,如果投標人愿意支付罰金,則采購人應(yīng)同意延期出運。罰金不超過遲延出運貨物總價的5%。罰金比率為每七天1%,不足七天以七天計。如果投標人比規(guī)定的裝運時間遲延六周,采購人有權(quán)解除合同。即使解除合同,投標人也應(yīng)向采購人支付罰金。

7

其他

7.1投標人應(yīng)按其投標文件中的承諾,進行其他售后服務(wù)工作。

7.2提供原廠技術(shù)彩頁,原廠技術(shù)彩頁必須支持投標產(chǎn)品。

7.3消耗品/零配件供應(yīng)及時(請附近期全部耗材成交目錄),必須以本地最優(yōu)惠價格提供。









技術(shù)規(guī)格偏離表

















序號

貨物名稱

招標技術(shù)要求

投標技術(shù)響應(yīng)

偏離情況

說明



























招標歷史
歷史招標
江西省林業(yè)科學院電子資源數(shù)據(jù)庫采購
點擊進入
歷史招標
北京市殘疾人文化體育指導(dǎo)中心2016年殘疾人越野滑雪服裝及護具采購項目招標通知
點擊進入
歷史中標
云南電網(wǎng)有限責任公司教育培訓(xùn)評價中心維修材料采購成交通知中標通知
點擊進入
歷史招標
廣西南寧供電局2017年辦公區(qū)物業(yè)管理項目招標通知
點擊進入
歷史中標
廣西世行貸款廣西來賓水環(huán)境綜合治理項目紅水河防洪管理(合同號:AGD)招標結(jié)果公示中標通知
點擊進入
歷史中標
上海控制系統(tǒng)數(shù)據(jù)包管理系統(tǒng)評標結(jié)果公示中標通知
點擊進入
歷史中標
甘肅中國聯(lián)通甘肅省分公司通信機房樓工程消防施工中標通知
點擊進入
歷史中標
河南漯河市沙澧產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)福民&#桂花園公共租賃住房一期室內(nèi)裝修工程施工評定標結(jié)果公示中標通知
點擊進入
歷史招標
安徽省譙城區(qū)龍揚鎮(zhèn)衛(wèi)生院購置全自動生化分析儀項目三次招標通知
點擊進入
歷史中標
江蘇南通電信港閘區(qū)小區(qū)監(jiān)控改造項目中選候選人公示中標通知
點擊進入
推薦業(yè)主單位 更多
 
1
北京中油建設(shè)項目勞動安全衛(wèi)生預(yù)評價有限公司
 
2
大慶油田公司第九采油廠
 
3
北京中油建設(shè)項目勞動安全衛(wèi)生預(yù)評價有限公司
 
4
大慶油田公司采氣公司
 
5
大慶油田工程有限公司環(huán)境規(guī)劃評價技術(shù)研究所
 
6
大慶油田有限公司第五采油廠環(huán)保部
 
7
大慶油田工程有限公司環(huán)境規(guī)劃評價技術(shù)研究所
 
8
大慶油田有限責任公司第二采油廠
 
9
大慶油田有限責任公司第十采油廠
 
10
大慶油田工程有限公司
 
11
大慶油田有限責任公司第七采油廠
 
12
大慶油田工程有限公司
 
13
大慶油田有限責任公司第九采油廠
 
14
大慶油田工程有限公司
 
15
大慶油田有限責任公司第二采油廠
友情鏈接 申請友情鏈接:service#cpeee.com
關(guān)于我們 | 聯(lián)系我們 | 會員服務(wù) | 入網(wǎng)流程 | 付款方式 | 法律聲明 QQ在線:51311961 QQ交談
Copyright ? 2008-2018  中國承包建筑工程網(wǎng)  版權(quán)所有    網(wǎng)站所載內(nèi)容及排版格式受版權(quán)法保護 嚴禁轉(zhuǎn)載  
政府單位:國務(wù)院國有資產(chǎn)管理委員會  |  中華人民共和國財政部